拉曼联用场发射扫描电子显微镜于近日投入运行。实验技术中心新配置的这款电镜是一款新型分析型扫描电镜系统。该电镜于5月31日完成安装调试，中心此次配置的拉曼联用扫描电镜也是中国科学院系统内首次投入运行的新型分析型扫描电子显微系统。

  本次安装的拉曼联用场发射扫描电子显微镜采用TESCAN MAIA 3 场发射扫描电子显微镜为基础，包括WITec RISE 共聚焦拉曼仪以及OXFORD ULTIM-Max 170能谱仪等多个附件，是一款高集成化多功能、多用途分析型扫描电子显微系统。该设备配备多种电子探测器，包括镜筒内二次电子探测器和背散射电子探测器，镜筒外二次电子探测器和背散射电子探测器，可以检测不同样品的常规二次电子像和背散射电子像以及高角度二次电子像和高角度背散电子像，同时具备低真空二次电子像和背散射电子像检测功能；配备阴极发光检测探头可用于阴极发光检测，配备3D成像模式可用于样品表面3D成像；配备大面积X射线能谱检测仪，可简单快速进行样品X射线能谱点线面元素成分分析检测，同时还可以进行超大面积面分布特征检测；配备联用共聚焦拉曼分析仪，可实现样品微区下样品形貌高分辨电子成像、元素组成的能谱点线面分析和物质成分的拉曼点线面分析的联用检测。

  该扫描电子显微镜具有操作便捷、集成度高、检测手段多样等技术特点，不但可以满足地质古生物研究领域的各类型微体古生物化石形态表征需求，也是古环境和埋藏学研究领域极其有效的技术手段；同时该电镜系统也可以对其它生命科学和材料科学领域提供基于电镜系统下的高分辨形态表征、X射线能谱元素成分分析和共聚焦拉曼物质组分分析的联合检测。

仪器照片